2551-62-4/六氟化硫的合成工藝

六氟化硫被廣泛應用于電力設備行業、半導體制造業、冷凍工業、有色金屬冶煉、航空航天、醫療(X光機、激光機)、氣象(示蹤分析)、化工等行業。由于六氟化硫具有優良的絕緣性能和減弧能力，工業級六氟化硫廣泛應用于電力設備中的輸配電及控制設備行業，包括氣體絕緣開關設備、斷路器、高壓變壓器、絕緣輸電管線、高壓開關、氣封閉組合電容器、互感器等，是繼第一代空氣、第二代油之后的第三代絕緣介質。

電子級六氟化硫則主要應用于半導體及面板顯示器件生產工藝中的蝕刻與清洗，具有用量少、純度高、對生產及使用環境潔凈度要求高和產品更新換代快等特點，國內僅有少數廠家具備生產能力。

工業上六氟化硫通常是由電解產生的氟在中高溫下與硫反應來制備。大致生產過程是通過電解槽電解無水氟化氫制取F2，與加入反應釜的單質硫反應，再通過熱解塔在350 °C裂解毒性較大的副產物S2F10，并通過水洗和堿洗除去HF、F2等雜質后進入低壓吸附去除水分、高壓吸附去除酸性氣體，在-30 °C蒸餾去除空氣和低沸點氣體，逸出的SF6通過尾氣捕集器(-60°C) 進行捕集后充裝。

雅克科技的子公司科美特為國內六氟化硫龍頭，現具備六氟化硫產能7000噸/年。2018年2月公司公告擴產項目環評，擬新增1000噸/年電子級SF6和2000噸/年CF4產能，擴產完成后公司將進一步鞏固在國內的龍頭地位。除科美特外，上市公司昊華科技下屬黎明院具備六氟化硫產能2800噸/年，新增2000噸/年產能在2018年底時尚處于環評評審階段。